Зеркала фацет: ФАЦЕТ НА ЗЕРКАЛЕ – ЧТО ЭТО ТАКОЕ

ФАЦЕТ НА ЗЕРКАЛЕ – ЧТО ЭТО ТАКОЕ

Той вид обработки выполняется под углом до 45 градусов. Зеркала, подвергнутые такой обработке – яркое дизайнерское решение, благодаря свету по краю, который красиво переливается. Изделия из стекла могут подчеркивать индивидуальность интерьера, придавая ему неповторимый эксклюзивный вид. Данное свойство заслужило интерес мастеров. Обработка дает возможность придания особой изюминки любому интерьеру. Лицевая сторона из стекла обрабатывает под необходимым углом и полируется. Завершающей процедурой является придание стеклу эстетичного вида. Благодаря следованию всем правилам выполнения работ мастера добиваются желаемого угла обработки. Так, линии изделий однородны, а лучи сходятся в углу, если изделие состоит из нескольких частей. Если не выполнять все требования, предъявляемые к обработке, то отраженный свет может выглядеть не достаточно эстетично. Разновидности фацета Стекло с фацетом бывает различным, чего можно добиться приемами обработки материала. Типы фацетов: — прямолинейный. Присутствует на стеклянных столешницах, дверцах, ступенях, стеклопакетах и других изделиях; — техника комбинирования – когда одно стекло располагается на другом; — двойной. Резку выполняют под разными углами, поочередно; — двусторонний. Обработка производится на лицевой стороне и сзади изделия, благодаря чему оно особенно красиво начинает блестеть. — криволинейный. При таком фацете выполняется резка по стеклу, форма которого отлична от прямоугольника. У изделий очертания кругов, овалов, арок и иные формы. Кроме того, изделия разделяются и методом отделки: полировка и матирование. Такой вид обработки дает возможность расширения ассортимента уже готовых зеркал. Изготовление стеклянных предметов высочайшего качества выполняется с использованием только новейшего оборудования. При помощи современных технологий появилась возможность контролировать всю работу, благодаря чему брак в изделиях исключен. Работу выполняют профессиональные мастера с огромным стажем и опытом. Данные факторы обеспечивают получение продуктов хорошего качества, способных радовать владельца много лет. Зеркала с фацетом не могут стать обыденностью, украшая долгие годы ваш дом и гармонируя с иными интерьерными элементами. Двойной фацет интересно смотрится на фоне простого, поскольку при изготовлении маленькое зеркало накладывается на большее по размеру.

Фацет на зеркале

Данное слово произошло из Франции, что обозначает – граненая плоскость. Фацет применяется для придания предмету экстравагантного и утонченного вида.

Виды

За счет огромным возможностям современных технологий, теперь можно выполнять фацет разными способами:
— если наложить малый фацет на большой, получается двусторонняя огранка. Данная услуга отличается разнообразными дизайнерскими возможностями, причем нет необходимости в посторонних элементах. Двусторонний фацет используется в производстве панно или конструкций из нескольких зеркал, дополняющих квартиру;
— криволинейная обработка возможна — криволинейная обработка возможна на полотне с толщиной 5 – 15 мм. Изделия с криволинейным фацетом должны быть не меньше 45 см, потому что грань может иметь наклон до 40 мм;
— подходящий для декорирования не слишком больших зеркал прямолинейный фацет, с минимально допустимыми размерами 25 на 25. По границам изделия со скосом под углом 50 – 450 мм. Толщина полотна должна быть не более 4 мм. Если зеркало широкое, необходима полировка.

Фацет на зеркале: особенности выполнения

Современное оборудование отлично справляется с данной технологией. Такая аппаратура с абсолютной точностью делает скос, а также дополнительно шлифует полотно. Зеркало с фацетом, произведенное данным способом, приобретает матовый оттенок. Для придания же прозрачности важно осторожно отполировать изделие. Чтобы усилить уникальность дизайна, можно оформить изделие в металлический багет, который подчеркнет фактуру и блеск самого зеркала, придавая интерьеру законченный вид.

Изготовление фацета на стекле и зеркалах в Москве

Стекольная компания «Стекло и стеклоизделия» предлагает изготовление фацета на стекле и зеркалах различных видов и толщин, а так же изготовление зеркальной плитки с фацетом, популярного строительного материала в современных помещениях.

Что такое фацет?

Фацет – это полированная или шлифованная полоса (фацет на зеркале от 5 мм до 40 мм), окаймляющая поверхность стекла или зеркала, скошенная к краю и образующая с нею определенный угол.

Фацет на стекле толщиной 10 мм

Фацет на зеркале

При изготовлении зеркала с фацетом, с края зеркала, под определенным углом, снимается кромка (от 5 до 40 мм). Фацет придает зеркалу визуальную законченность и создает эффект объема. Зеркала с фацетом смотрятся эффектнее, красивее и благороднее.

Фацет на зеркале толщиной 4 мм

Фацет на зеркале – это способ декоративной обработки кромки, который способен невероятно украсить поверхность зеркального полотна. Зеркала приобретают определенное благородство и изящество линий.

Своим заказчикам мы предлагаем следующие виды услуг по изготовлению фацета:

• Плитка с фацетом

• Зеркальные фацеты

• Фацет на стекле

• Зеркала с фацетом

• Двойной фацет

• Двусторонний фацет

Мы располагаем собственной стекольной мастерской и предлагаем самый полный спектр услуг по изготовлению фацета на стекле и зеркалах различных видов и толщин.

Цены на изготовление фацета

₽	до 10 мм	20 мм	30 мм	40 мм
	140 р.	180 р.	240 р.	360 р.

Более подробную информацию по стоимости изготовления фацета на стекле и зеркале вы можете увидеть в общем прайс-листе на стекло:

Скачать прайс-лист

Наличие на нашем производстве самого современного оборудования для обработки фацета на зеркалах, позволяет выполнять самые сложные заказы в сжатые сроки, а собственный парк специальных автомобилей для перевозки стекла помогает вовремя доставить всю производимую продукцию заказчику.

описание, виды фацетирования, дизайн и декор

Что такое фацет на зеркале и чем такое зеркало отличается от обычного? Все просто: оно имеет скошенные грани, которые преломляют свет и ярко блестят. Такая специальная огранка превращает обычный элемент интерьера в красивый декор и в отдельных случаях делает его похожим на настоящий бриллиант. 

Зеркало с фацетом сделает комнату светлее благодаря большему количеству отражающих плоскостей, а ее дизайн — более стильным и оригинальным. 

Фацетные зеркала имеют несколько разновидностей — не только по внешнему облику, но и по способу изготовления. Обо всех видах этого декора и о способах его применения в интерьере мы расскажем подробно.

Фото: schlafzimmermobel.info

Виды фацетных зеркал

Начнем с того, какими бывают зеркала с фацетом исходя из методики их создания. Различают зеркала с простым, двойным, прямолинейным или криволинейным фацетом. Надо сказать и о художественных разновидностях такого зеркала.

Простой или двойной фацет

Зеркала с простым фацетом — самые распространенные и экономичные. Они имеют грани в виде единичного среза, как на фотографии ниже. 

Фото: homepic.com.ua

С двойным фацетом все немного сложнее: огранка такого зеркала состоит из двух продольных скосов: широкого и более узкого. Они усиливают яркий красивый блеск граней и общий декоративный эффект от зеркала.  

Прямолинейная или криволинейная обработка

Деление на прямолинейный и криволинейный характер фацета зависит от формы самого зеркала. Если оно прямоугольное, квадратное, ромбовидное или любой другой формы, не предполагающей закруглений и плавных линий, скошенные грани на нем называют прямолинейными.

Фото: grupoquepasa.com

А криволинейная фацетная обработка относится к овальным и круглым зеркалам, а также к имеющим необычную декоративную форму: например к зеркалам в виде фигур животных, растений и так далее. 

Объемный эффект

Такое зеркало не просто имеет красивые грани и скосы — оно изготовлено в объемной форме, подобно бриллианту с огранкой. Такой облик усиливает отражающий и световой эффект фацетов. 

Фото: aviarydecor.com

Объемное фацетное зеркало — наиболее оригинальный и запоминающийся вариант современного зеркального декора, способный стать главным ярким акцентом комнаты.

Формы фацетного зеркала в интерьере

Традиционное настенное зеркало — это не единственная форма существования фацетного декора в интерьере. Есть и другие, более оригинальные способы его использования.

Панно

Очень распространены в домашнем интерьере зеркальные панно с фацетом. Как правило, собирается такая композиция из ромбовидных элементов, так как скошенные под углом грани эффективнее остальных отражают свет из окон или светильников. 

Фото: dobrahata.com.u

Наиболее распространенный вариант украшения — повесить несколько панно на стены комнаты, особенно если они имеют не слишком большой размер.

Зеркальная стена

Еще один вариант декорирования — оформить в квартире не отдельные участки, а целую зеркальную стену с фацетным эффектом. Она будет выполнять функцию акцентной, самой яркой и оригинальной стены в интерьере. А еще заменит традиционное зеркало. 

Фото: booxmaker.fr

Важно расположить такую стену напротив окна или светлых предметов мебели, чтобы обеспечить максимально эффективное отражение света.

Фацетное зеркало на мебели

Самый необычный и современный вариант оформления — поставить в комнату мебель с зеркальной фацетной поверхностью. Она станет очень ярким и самобытным декором, поможет придать оригинальности интерьеру.

Рассчитайте точную стоимость ремонта на онлайн-калькуляторе

и бесплатно получите подробную смету на ремонт

Рассчитать

Фото: aviarydecor.com

Самый распространенный вариант использования фацета на мебели — шкаф с зеркальными дверцами. Однако есть и более оригинальные дизайнерские решения: например полностью фацетный журнальный столик.

Фацетное зеркало в разных комнатах

Уникальность зеркала с фацетом в том, что оно гармонично впишется в любые стили интерьера: и классические, и самые современные. Однако необходимо обратить внимание на то, каким образом лучше всего размещать фацетное зеркало в разных комнатах. 

Прихожая 

У входа в квартиру просто необходимо большое высокое зеркало, и лучший вариант — повесить фацетный декор на стену в традиционном виде. Полностью зеркальная стена будет выглядеть излишне громоздко, так как прихожая и коридор чаще всего имеют небольшой метраж.

Фото: reins.com.ua

Можно также использовать гардеробный шкаф или встроенный шкаф-купе с фацетными зеркальными дверцами. Такой способ размещения фацетного зеркала в прихожей более функционален и практичен.

Спальня

В роли фацетного зеркала в интерьере спальни лучше всего будет смотреться акцентная зеркальная стена — расположить ее можно за изголовьем кровати, там она будет наиболее заметной. Такая современная и стильная отделка станет еще и функциональной, так как позволит не устанавливать в комнате обычное гардеробное зеркало.

Фото: aviarydecor.com

Есть и другой вариант, подходящий для более традиционных и сдержанных интерьеров: повесить по обе стороны от кровати симметричные зеркальные панно. Такое решение станет идеальным декорированием спальни в стиле современной или американской классики. 

Кухня

Зеркала с фацетом в интерьере кухни помогут сделать более ярким и оригинальным кухонный гарнитур — таким зеркальным декором можно оформить фартук между столешницей и верхними подвесными шкафами.

Фото: djinteriors.in

Гостиная

В гостиной будут красиво смотреться любые разновидности фацетного зеркала, так как это самая большая, просторная и светлая комната. Главное — правильно их расположить.

Фото: toolboxprodhouse.com

Зеркальную стену или панно лучше поставить напротив окон. Если выбираете отдельное зеркало, сделайте его максимально заметным: например повесьте над камином. 

Фото: fang.com

В зоне диванов будут прекрасно смотреться журнальные столики с объемной фацетной поверхностью. 

Что такое фацет на зеркалах и стеклах и как его использовать в интерьере

Слово «фацет» пришло в наш язык из французского, и в переводе означает «грань», «фаска». Это особый способ декоративной обработки стеклянных и зеркальных поверхностей, благодаря которому они получают законченный и дорогой вид. Такие изделия придают оригинальности и роскоши интерьеру, могут использоваться для украшения квартир, домов и офисов.

Что такое фацет

Изначально техника фацета использовалась французскими ювелирами, желающими придать своим изделиям из драгоценного камня завершенный вид. Этот способ получил большой успех и начал использоваться при изготовлении зеркал и стекол, а секрет такой популярности – особая игра света, создаваемая гранеными скошенными поверхностями. Они действуют по принципу призмы, преломляя солнечные лучи. В результате этого получается эффект разноцветных переливов, которые создают особую атмосферу в комнате.

Кроме красивого внешнего вида, обработанное таким образом зеркало становится легким для установки. Так как изделие получает скошенные края, его без проблем можно вставить в раму. Поэтому такие поверхности используются также для изготовления мебели и дверей, ведь на их сборку уходит меньше времени и средств.

Как изготавливается фацет

Благодаря развитию технологий процесс фацетирования стекол и зеркал стал занимать намного меньше времени, а качество работы повысилось. Для декорирования поверхностей применяют специальное оборудование, создающее кромку любой ширины и угла наклона. Такое окаймление абсолютно безопасно, об него невозможно порезаться. Это обеспечивается тщательной полировкой и шлифовкой кромки, поэтому риск травм сведен к нулю.

Цена готового изделия будет зависеть от сложности его изготовления и мастера. Конечно, чем опытнее специалист и чем оригинальнее обрамление, тем выше будет стоимость. Но если хочется создать дорогой и красивый интерьер, за такой декор определенно стоит заплатить.

Фацет делится на несколько видов, которые различаются способом изготовления. Разнообразие техник помогает подобрать подходящую вариацию для многих нужд, будь то оформление двери или обычное зеркало. Материал обрабатывают следующими методами:

• Прямой. Используется для обработки квадратных или ромбических стекол. Они получают прямой срез, что является отличительной особенностью данной техники. Габаритные изделия обязательно полируют для достижения аккуратного внешнего вида. Чаще всего этот метод используется для декорирования журнальных столиков, дверей и шкафов зеркальными или стекольными вставками.
• Криволинейный. Техника изготовления позволяет регулировать угол наклона и направление кромки, поэтому таким способом обрабатывают поверхности необычных форм, например овалов, кругов или арок с плавными краями. Применяется, как правило, для фацетирования больших поверхностей высотой более полуметра.
• Двойной фацет. Он позволяет усилить преломление солнечного света, что обеспечивает более интересный и красивый визуальный эффект. Этот способ актуален для обработки многослойных зеркал и стекол.
• Двусторонняя огранка. Используется для стекол, которые вставляются в окна или двери, так как для них необходима обработка с обеих сторон.

Интересно смотрятся матовые стекла, украшенные прозрачным фацетом. Такой вариант подойдет для строгого интерьера, например в стиле минимализм.

Использование фацета в разных стилях интерьера

Стекла и зеркала, декорированные в технике фацет, универсальны и подойдут почти для любого интерьера. Они выглядят оригинально и стильно и одинаково уместно смотрятся и в роскошной классике, и в строгом английском стиле, и в свободном просторном лофте.

Современный стиль

Главным правилом современного стиля является практичность и удобство во всем. Здесь не место броским и мудреным предметам декора, они должны быть лаконично и просто оформлены. Идеальным украшением для комнаты в современном стиле станут зеркала и стекла с фацетом, которые можно применять по-разному: часто такие изделия встречаются в журнальных столиках, а на стене в гостиной можно встретить интересные дизайнерские композиции. Для декорирования межкомнатных дверей отлично подойдет стекло с двусторонней огранкой, а шкафу-купе фацетное зеркало придаст статусности.

Фацетные зеркала кроме декорирования комнаты несут еще одну важную функцию. Благодаря их способности сильно отражать солнечные лучи, с их помощью можно визуально расширить помещение. Особенно это актуально в маленькой кухне или ванной комнате, а увеличить эффект поможет интерьер в светлых тонах.

Лофт

Свободолюбивый лофт легко узнается по характерным ему кирпичным стенам, металлическим трубам, балкам, проводам, высоким неотделанным потолкам и габаритной мебели. При выборе декора для стиля лофт важно придерживаться правила: его количество должно быть минимальным. Сам декор выбирают функциональный и практичный, поэтому важным элементом в таком интерьере является зеркало.

Лофт – не строгий стиль. Ему присущи простота и некая расслабленность, поэтому фацетное зеркало может просто стоять на полу. Если же хочется повесить его на стену, раму стоит выбирать самую простую и неброскую.

Стиль лофт – это свобода и большое пространство, поэтому он обычно используется для оформления квартир-студий. Лофт не приветствует массивных перегородок, сужающих помещение. Выходом из ситуации станут стеклянные ограждения с фацетом – они не нагружают интерьер, но отлично справляются со своей функцией зонирования.

Классический стиль

Особо гармонично смотрятся фацетные зеркала в величественном и роскошном классическом стиле. Их можно было встретить в царских интерьерах, бальных залах и огромных аристократических гостиных. Здесь можно дать простор фантазии и выбрать зеркало, выглядящее самым нарядным и декорированным, ведь классика любит красоту и обилие украшений.

Особое внимание стоит уделить раме – простые варианты лучше оставить двум вышеописанным стилям. Для классики нужно отдавать предпочтение резным обрамлениям, украшенным золотыми или бронзовыми вставками.

Фацетное зеркало прекрасно подчеркнет грациозную величавую обстановку и сделает акцент на натуральной деревянной мебели. Но нужно быть аккуратным при выборе размера зеркала. Слишком большие модели могут создать ощущение «захламленности», вызванное отражением в них габаритной мебели.

Ар-деко

Стиль ар-деко немыслим без использования большого количества оригинальных высоких зеркал, поэтому в такой интерьер идеально впишутся фацетные изделия. Их можно использовать в коридорах и прихожих, которые обычно довольно маленькие и узкие. Зеркальные поверхности исправят этот недостаток. Например, очень популярны шкафы с зеркалами, декорированными в технике фацет.

Очень эффектно смотрятся зеркальные панно, расположенные на стенах. Их можно использовать в любой комнате: гостиной, спальне или кабинете. К примеру, украсить такой композицией изголовье кровати. Отражаемый зеркальной поверхностью свет сделает комнату светлее и уютнее, а это очень важно в спальне, особенно, если она не расположена на солнечной стороне.

Американский стиль

Основная отличительная черта американского стиля – большая площадь. Американцы любят совмещать несколько комнат, например, столовую и гостиную, в одной. Но в городских квартирах такого простора может быть трудно добиться даже с учетом сноса перегородок. В таком случае на помощь приходит светлая мебель и зеркала, именно поэтому дизайнеры часто применяют фацетные поверхности для создания интерьера в американском стиле.

Чтобы сделать обстановку более легкой и непринужденной, межкомнатные двери декорируют фацетными зеркалами. Такая деталь подчеркнет гостеприимную, уютную и доброжелательную атмосферу, свойственную американскому интерьеру.

Этот же фокус можно проделать и с кухонным гарнитуром, украсив навесные ящики прозрачным или матовым стеклом с фацетом. С помощью этого приема можно перенести акцент на мебель или предметы декора.

Английский стиль

Прародителями этого стиля считают вычурный и роскошный барокко, практичный рококо и величественную готику. В сочетании с современной тенденцией делать интерьер максимально уютным и функциональным, они превратились в английский стиль. Его можно узнать по обилию красного дерева, большим стеклянным дверям и традиционным узорам в клетку.

В английском интерьере зеркала с фацетом, оформленные в раму из красного дерева, например, дуба или ореха, будут гармонично смотреться на общем фоне. Рама может быть выполнена и из золота или бронзы. Характерные для Англии высокие двустворчатые двери также можно украсить фацетным стеклом с клетчатым прямым узором, а наличие такого украшения на шкафах подчеркнет солидность и дороговизну интерьера.

Если грамотно подойти к вопросу, то с помощью изделий с фацетом можно успешно дополнить интерьер в любом стиле. Главное не забывать особенности, присущие тому или иному направлению, и подбирать изделия согласно этим критериям. Если в магазинах не нашлось подходящего варианта, можно заказать индивидуальное зеркало или стекло у мастера или прибегнуть к его самостоятельному изготовлению.

Как самостоятельно сделать фацет на зеркале

Оригинальный и стильный внешний вид фацетных изделий привлекает любителей подобных украшений. Неудивительно, что многие люди решают попробовать задекорировать стекла и зеркала в доме в технике фацет самостоятельно. Однако делать этого не стоит: чтобы создать качественный декор, необходимо обладать рядом знаний и иметь опыт работы со стеклом. Этим занимаются обученные профессионалы.

Кроме того, для фацетирования поверхностей используются специальные довольно дорогостоящие станки. Из-за этого творческие приверженцы создавать все своими руками пробуют пользоваться подручными материалами, что чревато травмами.

Если вы все же хотите создать индивидуальный декор, можно приобрести фацетные стекла и сделать из них настенное панно. Для его изготовления понадобится приобрести:

• фацетное стекло;
• специальный клей для стекла;
• уф-лампу для сушки клея;
• инструменты и дополнительные аксессуары.

Перед началом работ нужно составить эскиз будущего панно, по которому вы будете его изготавливать. Также не забудьте про перчатки – работать придется с клеем.

Изготовление фацетного панно или витража имеет как плюсы, так и минусы. Конечно, это творческий процесс, в результате которого вы создадите уникальный предмет интерьера. Но стоимость всех материалов может сравниться с ценой готового изделия, а иногда даже превысить его. У неподготовленного человека есть риск испортить заготовки. Поэтому, если вы решили создать фацет самостоятельно в целях экономии, лучше отказаться от этой идеи и обратиться к проверенному мастеру.

Но если вы творческий человек, желающий найти новое хобби, не отказывайте себе в таком удовольствии. Декорирование поверхностей фацетом – увлекательный и интересный процесс, который в будущем может превратиться в способ заработка.

Зеркало с фацетом станет изюминкой интерьера и сделает его вид презентабельным и роскошным. В сочетании со светлым интерьером оно визуально поднимет потолки и расширит комнату, а в темном интерьере сгладит мрачную атмосферу, добавив света и тепла.

Что такое фацет на зеркало?

В отличие от базовой еврокромки, фацет не только защищает от порезов об острые края, но и придает изделию завершенный внешний вид. Что представляет собой фацетирование краев зеркал?

Особенности зеркала с фацетом

Фацет – это внешняя грань, или фаска. Так как огранку выполняют под углом, при попадании света лучи преломляются и получается блеск – в результате зеркало выглядит презентабельнее и интереснее.
По методу обработки грани фацет бывает:

• прямолинейный – применяется для обработки зеркал простой формы, не имеющих закругленных краев, например, для столешниц, ступеней, дверок и стеклопакетов;
• криволинейный – подходит для обрамления в форме круга, овала, арки, фаску наносят под углом 7-45 градусов.

Отделка зеркал с фацетом может быть матированной либо полированной. При матировании получается матовая поверхность, при полировке – прозрачная. Ширина фаски зависит только от ширины зеркала – чем толще, тем шире и красивей фацет можно получить.

Фацетирование можно выполнить на зеркале толщиной не менее 4 мм. Минимальный размер изделия при прямолинейной обработке – 100×100 мм, при криволинейной – 110х180 мм. Ширина кромки может быть от 5 до 35 мм.

Виды зеркал

Модели зеркал с фацетной обработкой:

• настенное в раме или без – функциональные модели вешают в ванной, прихожей или гостиной, за счет такого элемента маленькое пространство выглядит просторнее;
• зеркальное панно – зеркало ромбами с фацетом в раме визуально расширяет пространство и помогает акцентировать внимание на предметах интерьера. Отлично подходит для больших комнат;
• зеркальная плитка
  – компактные зеркала применяют как декор и для отделки помещений, например, фартука кухни или стен в ванной. В зависимости от интерьера выкладывают часть стены или отдельный участок.

Фацетированная обработка краев превращает стандартное зеркало в оригинальный предмет декора, даже если вы покупаете готовое изделие.

Если ищете нестандартную модель, заказывайте изготовление панно или зеркальной плитки в Минске в мастерской – такой элемент станет настоящей изюминкой интерьера.

что это такое, виды по способу обработки, правильный выбор и установка

В статье я расскажу, что такое фацет, какими особенностями обладают такие зеркала. Рассмотрю виды по способу обработки, их разновидности по назначению и форме, а также опишу все модели. Поделюсь советами по правильному выбору как самих зеркальных поверхностей, так и места для их расположения.

Технология фацетирования впервые возникла во Франции. Слово «фацет» в переводе с французского языка – гранёная плоскость.

Особенности зеркал с фацетом

Фацет – это обработка лицевой стороны зеркала под углом до 45 градусов. Ширина такой обработки достигает 50 мм. Метод нанесения подходит для прямоугольных и вариантов криволинейной формы. Благодаря этой технике любая зеркальная поверхность приобретает утончённый вид.

В интерьере такие варианты подчёркивают необычность обстановки и придают ей завершённый вид.

Фацет немаловажен и с практической стороны вопроса: обработанные грани безопасны для тех, кто с ними контактирует.

Виды по способу обработки

По способу обработки различают прямолинейный фацет, криволинейный, а также двойной и тройной.

Прямолинейный

Толщина зеркальной поверхности – 3-19 мм, а минимальный его размер – 50х50 мм

Прямолинейная фацетная фаска применяется для обработки зеркальных поверхностей простой формы, без закруглённых углов (например, квадрат или прямоугольник).

Ширина такого фацета – от 4 до 30 мм. Срез делается под углом 3-7 градусов.

Прямолинейная фаска выполняется для зеркал обычной формы

Криволинейный

Толщина полотна должна быть 3-19 мм, а вот минимальный его размер – 110 х 180 мм

С помощью криволинейного фацетирования можно обрабатывать зеркала, имеющие форму круга, овала и т. д.

Ширина криволинейной фаски может варьироваться от 5 до 50 мм. Наносится фаска под углом 7-45 градусов.

Криволинейная применяется по контуру овальных и круглых зеркал

Двойной и тройной

При двойном и тройном фацете срез делается два и три раза соответственно. Причём каждый следующий срез более узкий по сравнению с предыдущим.

По виду отделки варианты с фацетом бывают матированные и полированные. Матированные имеют матовую поверхность, а полированные – прозрачную.

Пример тройного фацетирования

Разновидности по форме и назначению

По своему назначению зеркала с фацетом делятся на функциональные и декоративные. Функциональное призвано выполнять ряд функций (самая очевидная из них – вы в него смотритесь). Декоративное создаётся как элемент декора, который придаёт вашему интерьеру оригинальный вид.

По форме могут быть классические (прямоугольное, круглое и т. д.) и нестандартные (в виде цветка, солнца и т. д.).

По внешнему виду

На сегодняшний день производители предлагают нам следующие виды: настенное, зеркальное панно, зеркальная плитка, разновидность в раме. Рассмотрим каждый из видов подробнее.

Настенное зеркало с фацетом

Подойдёт для небольших комнат, таких как ванная или рабочий кабинет. Маленькое пространство благодаря такому варианту станет визуально шире.

Не вешайте в затемнённых комнатах обрамлённое настенное зеркало с фацетом напротив окна. Такое расположение будет давать прямое отражение солнца.

Настенный вариант лучше повесить под углом к окну, что добавит в комнату естественного освещения

Зеркальное панно

Идеально подойдёт для больших комнат (гостиная, например).

Зеркальное панно во всю стену способно визуально увеличить комнату

Панно создаёт иллюзию расширения пространства. Также оно заостряет внимание на определённом предмете.

Если вы хотите сделать акцент на картине, повесьте её напротив панно.

Зеркальная плитка

В качестве плитки используются небольшие по размеру фацетированные зеркала. Плитку можно выкладывать как в ванной, на кухне, так и в любой другой комнате.

Панели зеркальной плитки нужно крепить на разных уровнях, в противном случае они будут отражаться друг в друге.

В зависимости от дизайна интерьера зеркальной плиткой с фацетом можно выложить часть стены или произвольные участки

В раме

Рама придаст зеркалу завершённый вид. В качестве материала для рамы может использоваться металл, пластик, дерево.

Как правильно выбрать

Вот список основных правил, которых следует придерживаться при выборе зеркальной поверхности с фацетом:

1. Обращайте внимание на материал, который использовался при изготовлении. Попросите у продавца сертификат производителя. Если зеркало изготовлено из листового силикатного стекла марок М1 – улучшенное, М2 – зеркальное, М3 – оконное полированное, то смело приобретайте товар.
2. Смотрите на толщину изделия: идеальная толщина – 4-6 мм.
3. Оцените поверхность: на ней не должно быть царапин, вмятин, пузырьков и других изъянов.
4. Уделите внимание защитным покрытиям, находящимся с обратной стороны зеркала. Серебряной плёнки, которая создаёт отражающий эффект, мало для того, чтобы говорить о качественном изделии. Хорошие производители покрывают обратную сторону медной противокоррозионной плёнкой и слоем краски. Наиболее качественные варианты обработаны ещё и полимерным слоем, который не даёт рассыпаться на осколки при разбитии.
5. Внимательно осмотрите кромку: качественно обработанные края продлят срок службы изделия и обеспечат вашу безопасность при контакте с зеркалом.

Варианты расположения

В разных помещениях нужно учитывать различные особенности, перед тем как производить установку зеркальной поверхности.

Кухня

Если кухня маленькая, то такой вид декора визуально расширит пространство

Подойдёт зеркальная плитка с фацетом. Главное, не перегрузить кухню зеркалами – она будет выглядеть слишком вычурно. И не стоит размещать плитку на нескольких поверхностях – выбирайте одну из четырёх стен.

Ванная

В санузле зеркало с фацетом чаще всего устанавливают над раковиной

В ванной комнате зеркало будет играть не столько декоративную, сколько функциональную роль. Тут уместным будет как зеркальная поверхность, так и фацетная плитка.

Единственный минус – отражающая поверхность может запотеть.

Гостиная или зал

В гостиной можно расположить зеркальную поверхность с фацетом в раме

Зал и гостиная – в большинстве случаев комнаты довольно большие. А значит, сюда идеально впишется зеркальное панно. Но при желании вы можете повесить на стену вариант с фацетом в раме – это ничуть не испортит интерьер, а наоборот – придаст ему изюминку.

Плитка в гостиной тоже окажется уместной: её можно расположить не только на стене, но и на потолке, и даже на полу.

Спальня

Для спальни подойдёт как зеркало в раме, так и панно. Но и выложить одну из стен спальни зеркальной плиткой тоже будет неплохо, главное, не делать этого прямо напротив окна (о чём говорилось выше).

В спальне можно прикрепить зеркало к шкафу или повесить около туалетного столика

Соблюдая правила по выбору зеркал с фацетом и по их расположению, вы создадите по-настоящему необычный и утончённый интерьер, который точно станет поводом для гордости.

изготовление зеркало с фацетом на стекле в Казани

Фацет

Компания «Дежурный стекольщик» в Казани предлагает изготовление различных видов фацета на стекле и зеркалах. Фацет – это обработка края лицевой стороны стекла или зеркала путём снятия фаски под углом от 0 до 45 градусов.

! Мы единственные в городе, которые умеют обрабатывать зеркала с фацетом размером 50х50 мм.
! Мы умеем обрабатывать Кромку на стекле 12-10 мм под углом 45°

Фацет представляет собой шлифованную или полированную полосу, окаймляющую поверхность стекла или зеркала. Это вид декоративной обработки кромки стекла или зеркала путем снятия фаски (кромки). Сделать фацет можно в Казани в нашей компании на новом современном оборудовании с высокой точностью. Огранка стекла или зеркала фацетом предаст Вашему интерьеру дополнительную торжественность и улучшит эстетичность благодаря “бриллиантовому” блеску преломлённого света в фацете.

В зависимости от угла снятия материала (до 40-45 градусов к поверхности обрабатываемого изделия) достигается фацет различной ширины. В компании «Дежурный стекольщик» можно оформить заказ на изготовление фацета шириной от 5 до 25 мм. Соответственно и цена обработки погонного метра зависит от ширины фацета, формата стекла и зеркал, вида обработки.

Луч солнца, проходя сквозь скошенную кромку стекла, преломляется, образуя радугу и блики на окружающих предметах. С давних времен мастера по стеклу, снимая фаску, умело подчеркивали способность света преломляться в гранях стекла. Сегодня существует специальное высокотехнологичное оборудование, позволяющее получить желаемый результат с высокой точностью и в кратчайшие сроки.

• Фацет используется как один из вариантов обработки кромки стекла. Может быть как прямым, так и фигурным.
• Прямолинейный шириной от 0 до 40 мм может быть изготовлен на стекле толщиной от 4 до 15 мм; минимальный размер детали – 60*60 мм.

Зеркала с фацетом

Фацет 5 мм	Фацет 10 мм	Фацет 15 мм	Фацет 20 мм	Фацет 25 мм
200 руб п/м	150 руб п/м	150-200 руб п/м	200-250 руб п/м	250-350 руб п/м

* цена варьируется в зависимости от формата зеркал и количества

Фацет может быть разной ширины. Ширина фаски от 5 до 25 мм. Кроме того, очень интересно и необычно смотрится двойной фацет, который делается путем наложения фацетов – сначала большей ширины, а затем меньшей. Фацет делает из обычного зеркала или стекла завершенное изделие, которое, играя своими гранями, украсит любой интерьер.

Изготовление фацета на стекле в зависимости от вида обработки бывает:

• Матовым или полированным; Двух- или трехслойным;
• Одно или двусторонним; Прямым или фигурным (криволинейным).

Дополнительно фацет может окрашиваться краской или лаком.

Зеркала с фацетом смотрятся благороднее и эффектнее. Фацет придает визуальную законченность зеркалу и создает объемный эффект.

Высокотехнологичное оборудование компании «Дежурный стекольщик» и высокий профессионализм мастеров позволяют нам предложить такие услуги по изготовлению фацета:

• Обработка зеркал; Стекло с фацетом; Зеркальная плитка с фацетом;
• Панно на стену; Двойной фацет на зеркале или стекле.

Стоимость обработки зеркал и изготовления фацета отображена в таблице. Для заказа фацета или получения консультаций позвоните по телефону или заполните заявку онлайн.

Наше оборудование

HBX1200/HBX1400

Моечная машина для стекла.

HZM5325 GLASS

Станок для изготовления фацета.

HSYM4520 ARM

Станок для криволинейной обработки.

HZM43220 GLASS

Станок для кромки стекла и зеркал.

FED 4450 GLASS

Печь для моллирования стекла.

HZ4Q 3220 GLASS

Станок для закалки стекла и зеркал.

HP Designjet

Система для пескоструйных работ

Граненное настенное зеркало — 29 «

ПОСТАВКА ПЕРЕДНЕЙ ДВЕРИ

С доставкой через входную дверь ваш товар будет отправлен из нашего распределительного центра службой UPS и прибудет к вам домой в течение 4-5 рабочих дней с момента получения заказа.

ПОЛУЧИТЬ В МАГАЗИНЕ

Отдельные товары можно забрать в вашем местном магазине. Товары со склада можно забрать через 2 часа после размещения заказа без дополнительных затрат. Соответствующие критериям товары, отсутствующие на складе, могут быть отправлены в магазин по сниженной фиксированной стоимости доставки, начиная с 19 долларов США.99 (при заказе до 399 долларов). Пожалуйста, ознакомьтесь с размерами товара, чтобы убедиться, что изделие поместится в вашем автомобиле. Посетите нашу страницу информации о доставке для получения дополнительной информации.

ИБП СТАНДАРТНАЯ ПОСТАВКА + ОБРАБОТКА ПЛАТЕЖЕЙ

Стоимость доставки зависит от суммы вашего заказа и вариантов доставки. Посетите нашу страницу информации о доставке для получения дополнительной информации.

Добавьте 8,50 долларов за каждую подарочную упаковку. Для доставки на следующий день добавьте 26 долларов США за адрес. Товары, отправленные напрямую от производителя, и негабаритные товары не подлежат доставке на следующий день.

ДОСТАВКА НА СЛЕДУЮЩИЙ ДЕНЬ + ОБРАБОТКА

За дополнительную плату в размере 26 долларов США за адрес в 48 смежных штатах мы можем организовать доставку на следующий день в большинство пунктов назначения. Если мы получим ваш заказ до 18:00 по тихоокеанскому времени с понедельника по пятницу, вы получите свой заказ на следующий рабочий день; заказы, размещенные в пятницу после 18:00 по тихоокеанскому времени по воскресенье, будут доставлены во вторник. Примечание. Доставка на следующий день недоступна для товаров, которых нет в наличии, для персонализированных товаров или для товаров, отправленных напрямую от поставщика.

ЛЕГКИЙ ВОЗВРАТ

Компания West Elm гордится качеством наших товаров. При наличии действительного доказательства покупки большинство товаров подлежат возврату в течение 30 дней с момента покупки или доставки с возмещением стоимости товара. Товары, которые не подлежат возврату:

• Предметы с окончательной распродажи (с ценами, заканчивающимися на 0,97 или 0,99 доллара США)
• Изделия с монограммой
• Позиции под заказ (MTO)
• Матрасы и основы Robin
• Подарочные карты
• Детали, поврежденные в результате естественного износа

Для получения полной информации посетите нашу страницу возврата.

Многогранные зеркала | Эксклюзивные зеркала

Многогранные зеркала:

Многогранное зеркало действительно оживит любую имеющуюся комнату в вашем доме. Благодаря полностью зеркальному дизайну многогранные зеркала исключительно универсальны и впишутся практически в любую комнату вашего дома. В Exclusive Mirrors вы найдете широкий ассортимент многогранных зеркал с разнообразным декоративным дизайном. Эти потрясающие многогранные зеркала идеально вписываются в любую комнату вашего дома, будь то гостиная, столовая, спальня, коридор или кухня.Наш ассортимент многогранных зеркал действительно может добавить что-то особенное в ваш дом, они сразу же потребуют внимания, где бы вы их ни разместили. Как правило, многогранные зеркала используются как предмет разговора в комнате, а также как экспонат. Они также чрезвычайно практичны и могут легко использоваться в качестве функционального зеркала. Если вы не можете найти зеркало, которое ищете, обратитесь к одному из наших специалистов по зеркалам, который может предложить ваш совет и рекомендации по нашим многогранным зеркалам.

Стильные и практичные многогранные зеркала:

Добавьте декоративности своей стене с помощью одного из наших многогранных зеркал. Каким бы ни был ваш вкус, вы обязательно найдете зеркало из нашего потрясающего ассортимента, которое идеально впишется в вашу домашнюю обстановку, как в современном, так и в традиционном стиле. Для клиентов, которые хотят создать яркий фокус в своем доме, наши зеркала в модных декоративных рамах будут отлично смотреться, например, в стиле мозаики или ромба. У нас также есть зеркала, подходящие для жилых помещений любого размера, поэтому независимо от того, хотите ли вы покрыть всю стену одним из наших больших зеркал или, возможно, добавить тонкую особенность к своей стене с помощью одного из наших круглых зеркал или зеркал в цветочном стиле, которые мы имеем в наличии. .Наши многогранные зеркала предлагают полностью зеркальный дизайн, который красиво отражает свет и проецирует его по вашей комнате. Если их разместить стратегически, они также могут создать иллюзию увеличенного пространства. Наши многогранные зеркала идеально подходят для темных или небольших жилых помещений, которым требуется дополнительный свет. Наш замечательный ассортимент многогранных зеркал легко добавит роскоши вашему жилому пространству и станет идеальным завершающим штрихом в вашей комнате.

Качественные и доступные многогранные зеркала:

В Exclusive Mirrors мы понимаем, насколько важно найти идеальное многогранное зеркало, которое создаст потрясающий фокус в вашем доме, но по цене в пределах вашего бюджета.Вот почему мы предлагаем все наши зеркала по невероятно доступным ценам, позволяя вам найти свое идеальное многогранное зеркало, не тратя целое состояние. Все наши многогранные зеркала мастерски изготовлены из лучших материалов с максимальным вниманием к деталям. Это отражается в их красивой отделке. Наши многогранные зеркала очень износостойкие и прослужат вам долгие годы.

Фацетное зеркало — БУРК ДЕКОР

ЗАКАЗ: Заказы можно размещать онлайн 24 часа в сутки, позвонив по бесплатному телефону (888) 338-8111 с 9:00 до 18:00 EST с понедельника по пятницу или отправив электронное письмо по адресу sales @ burkeDecor.com. Пожалуйста, не указывайте информацию о своей кредитной карте в электронном письме. Представитель Burke Decor свяжется с вами по телефону в наши обычные рабочие часы для обработки.

После размещения заказа он сразу же отправляется на наш склад для обработки и подготовки к отправке. Это означает, что, к сожалению, после размещения заказа мы не можем его изменить или изменить.

ДОСТАВКА В 48 ШТАТОВ США:

Все заказы на сумму более 50 долларов США получают БЕСПЛАТНУЮ ДОСТАВКУ с доставкой по адресу в 48 смежных штатах.Стоимость доставки для заказов до 50 долларов США составляет 7 долларов США. В зависимости от размера и содержимого посылки отправляются через UPS, USPS, FedEx или DHL.

ДОСТАВКА НА АЛАСКУ И ГАВАИ:

Доставка посылок на Аляску и Гавайи оплачивается по фиксированной ставке в зависимости от веса.

Заказы весом от 0,1 до 10,0 фунтов стоят 15 долларов США

Заказы весом от 10,1 до 20,0 фунтов стоят 20 долларов США

Заказы весом от 20,1 до 40,0 фунтов стоят 40 долларов США

Обратите внимание, что мебель и предметы весом более 40 фунтов не могут быть отправлены в ALASKA и HAWAII без предварительного запроса коммерческого предложения перед заказом.

МЕЖДУНАРОДНЫЕ ДОСТАВКИ:

Тарифы рассчитываются при оформлении заказа на основе текущих тарифов Почтовой службы США, FedEx или DHL и информации о весе товара. Обратите внимание, что информация об отслеживании отправлений ограничена, и мы не можем гарантировать дату доставки для международных отправлений. Если вас интересуют варианты ускоренной международной доставки, спрашивайте.

Стоимость доставки по международным направлениям не включает стоимость налогов, тарифов или других таможенных сборов.Все налоги, тарифы и другие таможенные сборы оплачиваются получателем. Обратите внимание, что мебель и предметы весом более 40 фунтов не могут быть отправлены по международным направлениям без предварительного запроса расценок перед заказом.

Сроки международной доставки могут быть больше, чем сроки доставки внутри страны, указанные на странице продукта.

Если у вас есть адрес APO, пожалуйста, свяжитесь с нами перед покупкой, чтобы подтвердить, что интересующие вас товары могут быть отправлены на ваш адрес через USPS.

Fs-mntrl267 Aico Furniture Montreal Accent Round Facet Mirror

Информация для fs-mntrl267

Размер:	39,0 Ш x 39,0 В x 1,0 Г
Вес:	40,0 фунтов
Кубики:	7.06 куб. Футов
Комната:	Мебель Accent
Категория:	Зеркала

Montreal by Aico Furniture

Мы точно знаем, что вы ищете, и Montreal был построен для удовлетворения ваших потребностей и желаний.Сохраните изысканность и стиль с Montreal.

Некоторые из особенностей, которые отличают коллекцию Montreal от Aico Furniture:

Если вы ищете самое лучшее в мировом дизайне мебели, вам понравится сказочная и безупречная коллекция мебели Aico. Мебель Aico, созданная ведущим дизайнером Майклом Амини в 1988 году, действительно является ведущим мировым дизайнерским брендом. С последним присоединением к бренду дизайнера Джейн Сеймур, легендарной киноактрисы о Бонде, бренд изменился и расширил свой ассортимент.Мебель
Aico не зря была описана как воплощение хорошего вкуса, она сделана с необычайно выразительной детализацией и тщательной обработкой. Каждое их произведение — произведение искусства и красоты. Мебель Aico, изготовленная с высокой точностью, строгим контролем качества и изготовленная из лучших материалов, создается мастерами искусства изготовления мебели.
Aico также предлагает исключительное разнообразие вариантов дизайна интерьера и, используя широкий диапазон стилей, предлагает широкий выбор вариантов, позволяющих легко координировать дизайн.Эта превосходная гибкость выбора дизайна высшего качества является одной из причин его популярности. Коллекции мебели Aico включают гостиные, столовые, спальни и отдельные предметы интерьера, в которых воплощены лучшие мотивы французского, английского, американского, итальянского и русского дизайна. Другая коллекция Aico, большая коллекция Discoveries, включает в себя великолепный выбор дополнительных отдельных предметов мебели, которые соответствуют дизайну основной линии.
Лучше всего то, что цены на мебель Aico в Интернете также удивительно доступны для ведущего известного дизайнерского бренда.Сильное сочетание исключительного качества и отличной цены сделало его одним из самых популярных брендов на рынке сегодня.

Обзоры fs-mntrl267

---

Этот продукт еще не получил оценок. Щелкните здесь, чтобы просмотреть этот товар первым.

Biker’s Choice Facet Diamond Mirror: автомобильная промышленность

---

В настоящее время недоступен.
Мы не знаем, когда и появится ли этот товар в наличии.

• Убедитесь, что это подходит введя номер вашей модели.
• В Biker’s Choice они знают качество, ценность и производительность, когда видят это.
• Это не только их страсть, но и их личное обещание предоставлять своим клиентам только лучшие продукты, которые может предложить мир.
• Они знают свою продукцию, как друг друга, потому что ездят на том, что продают.
• Сердце Biker’s Choice — вся компания — заполнено такими же энтузиастами, как и вы; люди, увлеченные своим делом, отраслью, в которой они работают, и продуктом, который они продают.
• Большая зеркальная поверхность, вал с ЧПУ.

› См. Дополнительные сведения о продукте

Как сделать многогранное настенное зеркало | HGTV Design Star

Светоотражающие поверхности — отличный способ внести свет в пространство и сделать его больше.Если ваша комната могла бы быть немного гламурной, это многомерное зеркало для вас. Он выглядит как высококлассный аксессуар, но днем ​​его можно собрать самостоятельно.

Добавьте краску в поддон, прикрепите гильзу к малярному валику, затем нанесите два слоя выбранного вами цвета отделки на предварительно загрунтованную отделку.

С помощью торцовочной пилы отрежьте 4 отрезка обрезки диаметром 37-1 / 2 дюйма под углом 45 градусов.

Удерживая каждую из четырех скошенных частей кромки друг к другу, скрепите их вместе жидким клеем и гвоздями или шурупами для отделки.

Поместите собранный каркас непосредственно на фанеру на ровной твердой поверхности. Карандашом обведите все четыре внешних края рамки. Далее разрежьте по начерченной линии циркулярной пилой.

Для предотвращения деформации, а также для обеспечения исчезновения подложки после прикрепления зеркал покрасьте фанерную подложку в тон раме. Прикрепите основу к каркасу шурупами по дереву.

Используя карандаш и блокнот, нарисуйте эскиз, отметив расположение каждого зеркала и его соответствующую высоту.Чтобы воспроизвести этот проект, используйте три разных высоты: плоскую, с подъемом на 1/2 дюйма и с подъемом на 1 дюйм. Совет : Сохранение различных отметок в каждом ряду обеспечивает многомерный вид. Соседние зеркала нельзя размещать на одинаковой высоте.

Используя обрезки фанеры или обрезки, сделайте три подступенка 1/2 дюйма и три подступенка 1 дюйм. Сложите вместе деревянные обрезки, затем прикрепите их друг к другу жидким клеем.

После разметки фанерной основы малярной лентой для обозначения расположения каждого зеркала прикрепите подступенки к фанерной основе с помощью жидкого клеящего вещества.

Работая по одному ряду за раз, прикрепите каждое зеркало к соответствующему стояку с помощью жидкого адгезива. Обильно нанесите клей на заднюю часть зеркала и центр подступенка. Подождите не менее 24 часов, чтобы клей высох, прежде чем повесить.

С помощью дрели и шурупов прикрепите детали для подвешивания картин и провод к задней панели.

С помощью рулетки измерьте стену на предмет правильного размещения; по возможности старайтесь вешать прямо на стенную стойку. Совет : Многие дизайнеры предлагают вешать произведения искусства и зеркала с центром, расположенным примерно в пяти футах от пола.

Отметив нужную высоту, прикрепите к стене вешалки для картин с помощью молотка или дрели, а затем повесьте зеркало с недавно прикрепленной фурнитурой.

Патент США на Патент на фасетное зеркало (Патент № 10,599,041, выдан 24 марта 2020 г.)

ПЕРЕКРЕСТНАЯ ССЫЛКА НА СООТВЕТСТВУЮЩИЕ ЗАЯВКИ

Настоящая заявка является продолжением международной заявки PCT / EP2013 / 059427, поданной 7 мая 2013 г., которая испрашивает выгоду согласно 35 USC 119 заявки Германии, и испрашивает выгоду в соответствии с 35 USC 120. Нет.10 2012 010 093.0, подана 23 мая 2012 г. Международная заявка PCT / EP2013 / 059427 также испрашивает приоритет согласно 35 USC 119 (e) к предварительной заявке США № 61 / 650,568, поданной 23 мая 2012 г. Полное раскрытие международной заявки PCT / EP2013 / 059427 и заявка Германии № 10 2012 010 093.0 включены сюда в качестве ссылки.

Изобретение относится к фасетному зеркалу для осветительного оптического блока проекционного экспонирующего устройства. Кроме того, изобретение относится к осветительному оптическому блоку для освещения поля объекта в проекционном экспонирующем устройстве.Кроме того, изобретение относится к системе освещения для устройства проекционного экспонирования и устройству проецирования экспонирования с такой системой освещения. Наконец, изобретение относится к способу производства микроструктурированного или наноструктурированного компонента и компонента, полученного в соответствии с этим способом.

Зеркальная матрица для использования в аппарате проекционного экспонирования для микролитографии известна, например, из WO 2009/100856 A1. Всегда существует потребность в дальнейшем развитии компонентов такого проекционного экспонирующего устройства.

Первая цель изобретения состоит в усовершенствовании фасеточного зеркала для осветительного оптического блока проекционного экспонирующего устройства. Эта цель достигается с помощью фасеточного зеркала для осветительного оптического блока проекционного экспонирующего устройства, содержащего множество граней, в которых грани, соответственно, снабжены механизмом для демпфирования пространственных частот выше определенной предельной частоты.

В соответствии с одним аспектом изобретения фасеточное зеркало содержит множество фасеток, которые соответственно снабжены механизмом для демпфирования пространственных частот выше определенной предельной частоты.Такое фасетное зеркало можно, в частности, использовать в качестве фасеточного зеркала зрачка. Это позволяет заглушить микроструктуры полевого фасеточного зеркала, которые отрицательно сказываются на равномерности освещения маски в поле объекта. Такое фасетное зеркало с механизмом демпфирования пространственных частот также приводит к стабилизации оптической системы по отношению к вариациям источника и допускам системы.

Целенаправленная расфокусировка граней зрачка может служить механизмом демпфирования пространственных частот.Это может быть достигнуто подходящим подбором радиусов кривизны фасеток зрачка.

Можно также использовать тороидальные фасетки зрачка. Они предпочтительно сконфигурированы таким образом, чтобы преломляющая сила в направлении сканирования точно удовлетворяла условию конденсатора глаза мухи. Следует понимать, что это означает, что промежуточный фокус точно отображается на фасетках зрачка, а фасеты поля точно отображаются на сетке, по крайней мере, в одном пространственном направлении.В результате смещение источника излучения не приводит к появлению параллаксов в освещении поля. Тороидальные грани зрачка могут вносить желаемую расфокусировку в направлении, перпендикулярном направлению сканирования.

Грани для демпфирования пространственных частот предпочтительно снабжены подходящей функцией рассеяния. Функция рассеяния предпочтительно является одномерной функцией рассеяния. Он выбран таким образом, чтобы влиять на освещенность поля объекта только в направлении перекрестного сканирования.

Функция Гаусса с углом рассеяния σ примерно 0,4 мрад оказалась полезной для углового распределения рассеянной интенсивности. Это делает возможным ослабление пространственных частот более 1,33 мм ^-1 до контраста менее 0,01%. Обычно функция рассеяния имеет угол рассеяния σ по меньшей мере 0,1 мрад, в частности, по меньшей мере, 0,2 мрад, в частности, по меньшей мере, 0,3 мрад.

Такая функция рассеяния может быть реализована путем вписывания одномерных цилиндров в фасетки зрачка.Таким образом, грани имеют отражающую поверхность, которая состоит из цилиндрических участков поверхности. Секции цилиндрической поверхности предпочтительно имеют одинаковое выравнивание в каждом случае. Кроме того, они в каждом случае имеют одинаковый радиус кривизны. Однако они имеют разную ширину, то есть разные центральные углы. В результате можно очень хорошо аппроксимировать искомую функцию рассеяния. Также возможно выполнение цилиндрических участков поверхности с разными радиусами кривизны и одинаковой шириной или с разными радиусами кривизны и разной шириной.Ориентацию цилиндров можно установить произвольно. Это зависит, в частности, от вращения геометрического поля в конденсаторе глаза мухи.

Также возможно ввести заданную спектральную плотность мощности (PSD) на поверхность граней. Для этого поверхность граней делают анизотропной шероховатой. В результате можно получить желаемую функцию распределения двунаправленной отражательной способности (BRDF). При этом следует учитывать когерентность светового излучения, в частности, ЭУФ-излучения.

В соответствии с дополнительным аспектом изобретения фасетное зеркало содержит множество фасеток, которые соответственно снабжены дифракционной структурой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области. Грани могут быть снабжены, в частности, бинарной фазовой решеткой. Фазовая решетка предпочтительно имеет глубину канавки, которая как раз соответствует четверти длины волны, которую необходимо заблокировать. В частности, глубина канавки d находится в диапазоне от 2 мкм до 3 мкм, в частности в диапазоне от 2.От 5 мкм до 2,7 мкм, предпочтительно около 2,65 мкм. Дифракционная структура имеет период решетки p не более 5 мм, в частности, не более 3 мм, в частности, не более 2 мм, в частности, не более 1 мм. Здесь меньший период решетки приводит к большему углу отклонения для первого порядка дифракции. Угол отклонения составляет, в частности, не менее 3 мрад, в частности, не менее 5 мрад.

В принципе, грани также могут иметь многрешеточную структуру, в частности, с разными постоянными решетки.Это дает возможность подавить разные длины волн. Подробнее см. В DE 10 2009 044 462 A1.

Грани могут состоять из множества микрозеркал. Также возможно настроить фасеты таким образом, чтобы в каждом случае отдельный фасет подходил для освещения всего поля объекта.

Эта цель дополнительно достигается с помощью фасеточного зеркала для оптического осветительного блока проекционного экспонирующего устройства, содержащего множество граней, причем грани соответственно снабжены по меньшей мере одной дифракционной структурой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области. и в которой дифракционная структура имеет период решетки не более 5 мм.

Еще одна цель изобретения состоит в улучшении оптического блока освещения для освещения поля объекта в устройстве проекционного экспонирования.Эта цель достигается с помощью осветительного оптического блока для освещения поля объекта в проекционном экспонирующем устройстве, содержащем первое фасеточное зеркало и второе фасетное зеркало, как описано выше, при этом первое фасетное зеркало имеет структуру, по крайней мере, в областях, которые имеют пространственная частота не менее 0,2 мм ^-1 по меньшей мере в одном направлении.

Суть изобретения состоит в объединении первого фасетного зеркала, которое имеет структуру с пространственной частотой не менее 0.2 мм ^-1 , в частности не менее 0,3 мм ^-1 , в частности, не менее 0,5 мм ^-1 , в частности, не менее 1 мм ^-1 , со вторым фасетным зеркалом с фасетками, которые соответственно снабжен механизмом демпфирования пространственных частот выше определенной предельной частоты.

Такое сочетание двух фасеточных зеркал особенно выгодно. Таким образом, излучение, используемое для освещения предметного поля, можно очень гибко направлять через первое фасетное зеркало, в то время как вариант выполнения второго фасеточного зеркала служит для обеспечения освещения предметного поля с высокой однородностью.

Первое фасетное зеркало предпочтительно снабжено бинарной фазовой решеткой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области. В этом отношении сделана ссылка на приведенное выше описание.

Два фасетных зеркала предпочтительно согласованы друг с другом таким образом, чтобы механизм демпфирования пространственных частот граней второго фасетного зеркала просто приводил к пространственным частотам структуры первого фасеточного зеркала, имеющей контраст. не более 1% в области поля объекта.

Первое фасетное зеркало, в частности, снабжено бинарной фазовой решеткой для блокировки излучения в инфракрасной области. Здесь фазовая решетка предпочтительно имеет глубину канавки d, которая как раз соответствует четверти длины волны, которую необходимо заблокировать.

Бинарная фазовая решетка предпочтительно имеет период решетки p, который согласован с конфигурацией граней второго фасетного зеркала таким образом, что отображается первый и минус первый порядок дифракции излучения с длиной волны, которая должна быть заблокирована. на гранях второго фасеточного зеркала, грани которого лежат рядом с гранью, на которой останавливается изображение формирующего излучения.Грани зрачка, на которых отображается первый и минус первый порядок дифракции блокируемого излучения, выровнены таким образом, в частности наклонены таким образом, чтобы блокируемое излучение не отображалось в поле объекта. В частности, блокируемое излучение может быть отклонено к световой ловушке.

Еще одна цель изобретения состоит в улучшении системы освещения для проекционного экспонирующего устройства, в частности для проекционного экспонирующего устройства EUV, и такого проекционного экспонирующего устройства для микролитографии.

Эти цели достигаются с помощью системы освещения для проекционного экспонирующего устройства EUV, содержащего осветительный оптический блок, как описано выше, и источник EUV-излучения, и с помощью проекционного экспонирующего устройства для микролитографии, содержащего осветительный оптический блок, как описано выше. Преимущества соответствуют описанным выше.

Дополнительные цели изобретения состоят в улучшении способа производства микроструктурированного или наноструктурированного компонента и такого компонента.Эти цели достигаются с помощью способа производства микроструктурированного или наноструктурированного компонента, включающего следующие этапы: обеспечение подложки, на которую, по крайней мере, частично нанесен слой из светочувствительного материала, создание сетки нитей, которая имеет структуры для быть отображенным, обеспечивая устройство проекционного экспонирования, как описано выше, и проецируя по меньшей мере часть сетки на область светочувствительного слоя подложки с помощью устройства проецирования экспонирования и с помощью компонента, произведенного данным способом.Что касается преимуществ, снова сделана ссылка на приведенное выше описание.

Дополнительные преимущества, особенности и детали изобретения появляются из описания множества примерных вариантов осуществления на основе чертежей. Подробно:

РИС. 1 схематично показывает меридиональный разрез устройства проекционного экспонирования для проекционной литографии EUV,

Фиг. 2 схематично показан вид сверху секции полевого фасетного зеркала, которое состоит из отдельных зеркал и предназначено для использования в устройстве проекционного экспонирования согласно фиг.1,

РИС. 3 — разрез отдельного зеркального ряда фасеточного зеркала по фиг. 2 от направления обзора III на фиг. 2,

РИС. 4-6 очень схематично показывают в различных различных конфигурациях различные формы отражающей поверхности ряда, образованной из отдельных зеркал отдельного ряда зеркал, показанных на фиг. 3,

РИС. 7 схематично показывает иллюстрацию конструкции фасетки полевого фасетного зеркала в соответствии с одним примерным вариантом осуществления,

Фиг.8 схематично показывает иллюстрацию конструкции фасетки полевого фасетного зеркала в соответствии с дополнительным примерным вариантом осуществления,

ФИГ. 9 и 10 показывают схематические иллюстрации пути луча в осветительном оптическом блоке в соответствии с примерным вариантом осуществления с полевым фасетным зеркалом с дифракционной структурой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области,

Фиг. 11 показывает схематическое изображение грани с фазовой решеткой,

фиг.12 и 13 показывают схематические иллюстрации для пояснения влияния функции рассеяния на фасет зрачка,

фиг. 14 показывает схематические иллюстрации конструкции отражающей поверхности грани поля в соответствии с примерным вариантом осуществления, а

— фиг. 15 — схематическая иллюстрация гауссовой функции рассеяния на N = 10 цилиндрах.

Прежде всего описывается общая конструкция проекционного экспонирующего устройства 1 для микролитографии.

В меридиональном сечении фиг. 1 схематично показано устройство 1 проекционного экспонирования для микролитографии. В дополнение к источнику излучения 3 система освещения 2 проекционного экспонирующего устройства 1 содержит оптический блок 4 освещения для экспонирования поля объекта 5 в плоскости объекта 6 . В этом случае видна сетка, которая расположена в поле объекта 5 , не показана на чертеже и удерживается держателем сетки (также не показано).Проекционный оптический блок 7, служит для изображения поля объекта 5, в поле изображения , 8, в плоскости изображения , 9, . Структура сетки прицела изображена на светочувствительном слое пластины, которая расположена в области поля изображения 8 в плоскости изображения 9 , также не показана на чертеже и удерживается пластиной. держатель (аналогично не изображен).

Источник излучения 3 — это источник EUV-излучения с испускаемым использованным излучением в диапазоне от 5 нм до 30 нм.Здесь это может быть источник плазмы, например, источник GDPP (плазма, создаваемая газовым разрядом) или источник LPP (плазма, создаваемая лазером). Например, олово можно возбуждать с образованием плазмы с помощью углекислотного лазера, работающего на длине волны 10,6 мкм, то есть в инфракрасной области. Источник излучения на основе синхротрона также может использоваться в качестве источника излучения 3 . В качестве примера специалист в данной области техники может найти информацию о таком источнике излучения в патенте США No.№ 6,859,515 B2. EUV-излучение 10 , которое испускается источником излучения 3 , фокусируется коллектором 11 . Соответствующий коллектор известен из EP 1225481 A. После коллектора 11 EUV-излучение 10 распространяется через промежуточную плоскость фокусировки 12 , прежде чем оно попадет на полевое фасетное зеркало 13 с кратностью граней поля 13 a . Зеркало , 13, полевой фасетки расположено в плоскости оптического блока 4, освещения, которая оптически сопряжена с плоскостью объекта 6, .

В нижеследующем тексте EUV-излучение 10 также называется освещающим светом или светом визуализации.

После полевого фасеточного зеркала 13 , EUV-излучение 10 отражается фасеточным зеркалом 14 зрачка с множеством фасеток зрачка 14 a . Зеркало , 14, фасетки зрачка расположено в плоскости зрачка оптического блока 4 освещения, которая оптически сопряжена с плоскостью зрачка проекционного оптического блока 7 .С помощью зеркала 14 фасетки зрачка и оптического блока формирования изображения в виде передающего оптического блока 15 с зеркалами 16 , 17 и 18 , обозначенными в последовательности пути луча, отдельные грани поля , 19, , которые также называются подполями или отдельными группами зеркал и которые все еще будут описаны более подробно ниже, зеркала 13, фасетов поля отображаются в поле объекта 5 .Последнее зеркало , 18, оптического блока передачи , 15, является зеркалом скользящего падения.

Чтобы упростить описание позиционных соотношений, декартова система координат xyz построена на фиг. 1 в качестве глобальной системы координат для описания позиционных отношений компонентов проекционного экспонирующего устройства , 1, между плоскостью объекта , 6, и плоскостью изображения , 9, . На фиг. 1 ось x проходит перпендикулярно плоскости чертежа в последнюю.Ось y направлена ​​вправо на фиг. 1. На фиг. 1 ось z проходит вниз, то есть перпендикулярно плоскости объекта 6 и плоскости изображения 9 .

РИС. 2 показаны детали конструкции полевого фасетного зеркала , 13, в очень схематической иллюстрации. Общая отражающая поверхность , 20, полевого фасетного зеркала , 13, разделена на ряды и столбцы для образования сетки зеркальных элементов, называемой ниже отдельным зеркалом , 21, .Таким образом, полевое фасетное зеркало , 13, выполнено в виде массива зеркал с множеством отдельных зеркал 21 . Отдельные зеркала , 21, соответственно имеют индивидуальную отражающую поверхность 20, , и . Для отражения EUV-излучения 10 отдельные зеркала 21 имеют покрытие с многослойной системой 34 . В соответствии с первым примерным вариантом осуществления многослойная система , 34, отдельных зеркал , 21, имеет одинаковую толщину.Это, в частности, упрощает изготовление отдельных зеркал , 21, и, следовательно, приводит к снижению затрат.

Отдельные отражающие поверхности 20 a каждого из отдельных зеркал 21 являются плоскими, по меньшей мере, в секциях. По меньшей мере, некоторые из отдельных зеркал , 21, могут также иметь отдельную отражающую поверхность 20, , и с полностью плоской конструкцией. Также возможно, что все отдельные зеркала 21, имеют отдельную отражающую поверхность 20 a с полностью плоской конструкцией.Отдельный ряд зеркал , 22, имеет множество отдельных зеркал , 21, , расположенных непосредственно рядом друг с другом. От нескольких десятков до нескольких сотен отдельных зеркал , 21, может быть предусмотрен отдельный ряд зеркал , 22, . Отдельные зеркала , 21, имеют квадратную форму в примере по фиг. 2. Также можно использовать другие формы отдельных зеркал, которые позволяют занимать общую отражающую поверхность 20 с минимально возможным количеством зазоров.Такие альтернативные формы отдельных зеркал известны из математической теории мозаики.

В качестве примера полевое фасетное зеркало 13 может быть выполнено, как описано в DE 10 2006 036 064 A1.

В зависимости от варианта выполнения полевого фасетного зеркала , 13, , отдельная зеркальная колонна , 23, также имеет множество отдельных зеркал , 21, . В качестве примера предусмотрено несколько десятков отдельных зеркал 21 на каждый отдельный ряд зеркал 23 .

Чтобы упростить описание позиционных соотношений, декартова система координат xyz нанесена на фиг. 2 в качестве локальной системы координат полевого фасетного зеркала 13 . Соответствующие локальные системы координат xyz также можно найти на следующих рисунках, которые показывают фасеточные зеркала или их сечение на виде сверху. На фиг. 2 ось x проходит горизонтально вправо, параллельно отдельным рядам зеркал 22 . На фиг. 2 ось y проходит вверх параллельно отдельным зеркальным стойкам 23 .Ось z перпендикулярна плоскости чертежей фиг. 2 и выходит из последнего.

Во время проекционного экспонирования держатель сетки и держатель пластины сканируются в направлении y синхронно относительно друг друга. Также возможен небольшой угол между направлением сканирования и y-направлением. В x-направлении общая отражающая поверхность 20, полевого фасетного зеркала , 13, имеет протяженность x ₀ . В направлении y общая отражающая поверхность 20, полевого фасеточного зеркала 13, имеет протяженность y ₀ .

В зависимости от варианта выполнения полевого фасетного зеркала 13 отдельные зеркала 21 имеют размеры x / y в диапазоне, например, от 600 мкм × 600 мкм до, например, 2 мм × 2 мм. В частности, это так называемые микрозеркала. Микрозеркала также могут иметь размеры и / или расположение на полевом зеркале , 13, таким образом, чтобы они образовывали дифракционную структуру для излучения в заданном диапазоне длин волн. В частности, они могут быть сконфигурированы и / или расположены таким образом, что они образуют дифракционную структуру для излучения в инфракрасном диапазоне длин волн, в частности для излучения с длиной волны 10.6 мкм. С этой целью они могут, в частности, иметь размеры, которые лежат в области длин волн, подлежащих дифракции, в частности в инфракрасной области, в частности в области от 780 нм до 1 мм. Отдельные зеркала , 21, могут иметь такую ​​форму, чтобы они оказывали фокусирующее действие на освещающий свет , 10, . Такой эффект фокусировки отдельных зеркал , 21, особенно выгоден при использовании расходящегося освещения полевого фасетного зеркала , 13, с помощью осветительного света 3 .Зеркало 13 фасетки всего поля имеет протяженность x ₀ / y ₀ , которая, в зависимости от варианта осуществления, составляет, например, 300 мм × 300 мм или 600 мм × 600 мм. Отдельные грани поля , 19, имеют типичные размеры x / y, например, 25 мм × 4 мм, 83 мм × 4 мм, 83 мм × 6 мм или 104 мм × 8 мм. Возможны другие размеры, в зависимости от требований. Каждая из отдельных граней поля 19 имеет соответствующее количество отдельных зеркал 21 , в зависимости от соотношения между размером соответствующих отдельных граней поля 19 и размером отдельных зеркал 21 , которые составляют эти поле индивидуальные грани 19 .

Для целей индивидуального отклонения падающего света 10 каждое из отдельных зеркал , 21, , соответственно, соединено с исполнительным механизмом 24 , как показано пунктирной линией на фиг. 2 на основе двух отдельных зеркал , 21, , расположенных в нижнем левом углу общей отражающей поверхности 20 и более подробно проиллюстрированных на фиг. 3 по сечению отдельного фасеточного ряда 22 .Приводы , 24, расположены на стороне каждого из отдельных зеркал , 21, , которая обращена от отражающей стороны отдельных зеркал , 21, . Например, исполнительные механизмы , 24, могут быть выполнены как пьезоприводы. Варианты таких исполнительных механизмов известны из конструкции решеток микрозеркал.

Исполнительные механизмы 24 отдельного зеркального ряда 22 соответственно подключены к сигнальной шине строки 26 через сигнальные линии 25 .Один отдельный зеркальный ряд 22, связан, соответственно, с одной из сигнальных шин строк , 26, . Сигнальные шины строк , 26, отдельных рядов зеркал , 22, , в свою очередь, подключены к главной сигнальной шине , 27, . Последний имеет сигнальное соединение с устройством управления 28 полевого фацетного зеркала 13 . Управляющее устройство , 28, , в частности, сконфигурировано для обычного построчного, то есть построчного или построчного срабатывания отдельных зеркал 21 .

Каждое из отдельных зеркал 21 может, индивидуально и независимо, наклоняться вокруг двух осей наклона, перпендикулярных друг другу, при этом, в частности, первая из этих осей наклона проходит параллельно оси x и вторая из этих двух осей наклона проходит параллельно оси y. В общем, отдельные зеркала , 21, можно наклонять по любому азимуту в любом конкретном угловом диапазоне.

Кроме того, исполнительные механизмы 24 также позволяют смещать отдельные зеркала 21 индивидуально в направлении оси z.Таким образом, отдельные зеркала , 21, могут перемещаться таким образом, чтобы они приводились в действие отдельно друг от друга, вдоль нормали к общей отражающей поверхности , 20, . В результате можно в целом изменить топографию всей отражающей поверхности 20 . Это проиллюстрировано примерным и очень схематичным образом на основе фиг. 4 и 5. В результате также можно изготавливать контуры общей отражающей поверхности 20 с большим прогибом, т.е.е. большие вариации топографии общей отражающей поверхности 20 в виде зеркальных секций, расположенных в общей плоскости, в стиле линз Френеля. Более того, дифракционная структура, в частности дифракционная решетка, может быть сформирована таким образом на общей отражающей поверхности 20, матрицы , 13, зеркал.

РИС. 4 показаны отдельные отражающие поверхности 20 a отдельных зеркал 21 секции отдельного ряда зеркал 22 , при этом все отдельные зеркала 21 этого отдельного ряда зеркал 22 установлены одинаковыми абсолютное положение по оси Z устройством управления 28 и исполнительными механизмами 24 .В случае полностью плоской конструкции отдельных зеркальных отражающих поверхностей всех отдельных зеркал , 21, , это приводит к плоскому ряду отражающей поверхности отдельного зеркального ряда 22 . Соответственно, также возможно получить плоскую отражающую поверхность столбца отдельной зеркальной стойки 23, .

РИС. 5 показано срабатывание отдельных зеркал 21 отдельного ряда зеркал 22 , в котором центральное отдельное зеркало 21 _м установлено смещено в отрицательном направлении оси z относительно соседних отдельных зеркал 21 _r1 , 21 _r2 , 21 _r3 .Результатом этого является ступенчатая компоновка, которая приводит к соответствующему смещению фазы осветительного света 10, , падающего на отдельный ряд зеркал 22 согласно фиг. 5. Сдвиг фазы составляет четверть длины волны, особенно для излучения в инфракрасной области. Следовательно, зеркало 13 имеет так называемую структуру λ / 4 для излучения в инфракрасной области, в частности для излучения с длиной волны 10,6 мкм. Освещающий свет 10, , отраженный двумя центральными отдельными зеркалами 21 _m , испытывает здесь наибольшую задержку фазы.Отдельные боковые зеркала , 21, , _{, r3,} создают наименьшую фазовую задержку. Промежуточные отдельные зеркала 21 _r1 , 21 _r2 соответственно ступенчато создают все меньшую задержку фазы, обусловленную задержкой фазы центральными отдельными зеркалами 21 _m . В частности, отдельные зеркала , 21, установлены таким образом, что для каждого отдельного зеркала 21 имеется по меньшей мере одно дополнительное отдельное зеркало 21 , так что отдельные отражающие поверхности этих двух отдельных зеркал 21 смещены на заданное смещение V в направлении нормалей их поверхностей.Здесь смещение V находится, в частности, в области четверти длины волны в инфракрасной области. В частности, смещение V находится в диапазоне от 1 мкм до 10 мкм. В частности, он может составлять 2,65 мкм. Однако также возможно расположить отдельные зеркала , 21, попарно со смещением V, отклоняющимся от него. В общем, смещение V предпочтительно больше заданной длины волны излучения в УФ-области, в частности больше 100 нм. В частности, смещение V выбирается таким образом, чтобы нулевой порядок дифракции составляющей заданной длины волны излучения 10 , падающего на зеркало 13 , в частности инфракрасной составляющей, в частности, с длиной волны 10 .6 мкм, погашен.

РИС. 6 показано дополнительное расположение отдельных зеркал , 21, . Расположение отдельных зеркал 21 , показанных на фиг. 6 по существу соответствует таковому на фиг. 3. Здесь отдельные зеркала , 21, , _{, f,} , , 21, , _{, b,} соответственно расположены попеременно в переднем и заднем положении, причем эти два положения соответственно смещены относительно друг друга на заданное смещение V в направление нормалей поверхности отдельных зеркал 21 _f , 21 _b .Здесь такое смещение может быть предусмотрено как для отдельных рядов , 22, зеркал, так и для отдельных столбцов 23 зеркал. Общая отражающая поверхность , 20, зеркала , 13, , следовательно, имеет узор в виде шахматной доски с передними отдельными зеркалами 21 _f и задними отдельными зеркалами 21 _b . Здесь все отдельные зеркала , 21, соответственно могут иметь плоскую отдельную отражающую поверхность.Чередование отдельных зеркал , 21, также называется бинарной фазовой структурой или бинарной фазовой решеткой. Смещение V в этом случае также называется глубиной канавки фазовой сетки.

В альтернативных вариантах осуществления отдельные зеркала , 21, не регулируются в направлении z. Они расположены с заранее заданным шаблоном смещения, в частности, в соответствии с вариантами осуществления, описанными со ссылкой на фиг. 5 и 6. Что касается дополнительных деталей возможности компоновки отдельных зеркал , 21, и вытекающих из этого преимуществ, ссылка сделана на WO 2009/100 856 A1.

В нижеследующем тексте описывается еще один вариант осуществления зеркала 13 со ссылкой на фиг. 7. В примерном варианте осуществления согласно фиг. 7, отдельные отражающие поверхности , 20, , a, отдельных зеркал , 21, зеркальной матрицы , 13, соответственно имеют передние области , 31, и задние области , 32, , которые выровнены параллельно друг другу и смещены на относительно друг друга в направлении нормалей их поверхностей на заданное смещение V.В направлении, перпендикулярном их нормалям к поверхностям, передние области , 31, и задние области , 32, имеют одинаковую ширину. Здесь ширина передних областей , 31, также называется шириной полотна. Ширина задних областей 32 также называется шириной канавки. Индивидуальная отражающая поверхность , 20, , a, отдельного зеркала , 21, в целом содержит по меньшей мере одну такую ​​переднюю область 31 и одну такую ​​заднюю область 32 .Однако он также может иметь множество таких областей 31 , 32 . В частности, области , 31, , , 32, образуют решетчатую структуру с постоянной решеткой G. Здесь, в частности, это может быть бинарная решетка. Постоянная решетки G также называется периодом решетки p.

В частности, постоянная решетки G выбрана таким образом, чтобы электромагнитное излучение с длинами волн выше, чем у света 10 , используемого для изображения сетки 7 , рассеивалось.В частности, постоянная решетки G может находиться в инфракрасной области, то есть в диапазоне от 780 нм до 1 мм. В частности, постоянная решетки G составляет не более 5 мм, в частности, не более 3 мм, в частности, не более 2 мм, в частности, не более 1 мм. В частности, его выбирают таким образом, чтобы первые порядки дифракции преломляемого излучения отклонялись на угол, который точно соответствует диаметру фасетки зрачка 14 a.

Отдельное зеркало 21 имеет многослойную систему 34 .Многослойная система , 34, наносится на подложку , 35, . Многослойная система , 34, отдельных зеркал , 21, образует отражающее покрытие, в частности, для EUV-излучения 10 . В частности, многослойная система , 34, может иметь множество последовательных двойных слоев кремний / молибден.

Другой вариант конструкции отдельного зеркала 21 показан на фиг. 8. Конструкция по существу соответствует конструкции отдельного зеркала , 21, согласно фиг.7. Однако отдельное зеркало , 21, содержит первую решетчатую структуру с первым смещением V ₁ и первой постоянной решеткой G ₁ и дополнительную вторую решетчатую структуру со смещением V ₂ и постоянной решеткой G _{. 2} . Обе решетки предпочтительно проектировать как бинарные решетки самоподобным образом. Здесь вторая структура решетки сконфигурирована таким образом, что она приводит к деструктивному подавлению в нулевом порядке дифракции по меньшей мере для одной дополнительной длины волны, которая значительно меньше, чем, например, длина волны, которая подавляется первой структурой решетки за счет деструктивная интерференция в нулевом порядке дифракции.Другими словами, в то время как деструктивная интерференция возникает в первой решетчатой ​​структуре с постоянной решеткой G ₁ и смещением V ₁ для инфракрасного излучения, схематично показанного как ИК-излучение 36 на фиг. 8 — в частности, такое длинноволновое излучение не разрешается второй решетчатой ​​структурой, в то время как существует деструктивная интерференция, в частности, на второй решетчатой ​​структуре с постоянной решеткой G ₂ и смещением V ₂ для электромагнитного излучения в видимом ( VIS) и / или УФ-диапазон длин волн — схематично проиллюстрированный как УФ / видимое излучение 37 на фиг.8. ЭУФ-излучение 1 остается, по крайней мере, в значительной степени без влияния двух решетчатых структур. Следует понимать, что это означает, что интенсивность порядков дифракции EUV-излучения 10 снижается не более чем на 10%, в частности не более чем на 5%, в частности не более чем на 1%, в частности не более чем на 0,1% решетчатыми структурами.

Таким образом, индивидуальное зеркало 21 имеет структуру с множеством решеток. В соответствии с вариантом осуществления, показанным на фиг.8, с двойной решетчатой ​​структурой, отдельное зеркало 21 также может быть выполнено с трех-, четырех-, пятикратной и т.д. решетчатой ​​структурой.

Что касается других деталей, относящихся к решетчатой ​​структуре, то ссылка делается на DE 10 2009 044 462 A1.

Что применяется ко всем примерным вариантам осуществления, описанным выше, так это то, что взаимно смещенные области соответственно отделены друг от друга смещенной кромкой 41 . Смещенная кромка , 41, может быть сформирована на одном отдельном зеркале , 21, или между двумя отдельными зеркалами , 21, .Соответственно, он имеет ориентацию в определенном направлении. В этом случае предпочтительно, если смещенные кромки , 41, выровнены таким образом, чтобы их проекция вдоль оптической оси оптического блока 4 освещения проходила под углом в поле объекта 5 , в частности перпендикулярно к направление сканирования.

Также может быть выгодным выровнять одну часть смещенных кромок , 41, в первом направлении и выровнять дополнительную часть смещенных кромок , 41, во втором направлении, которое отклоняется от нее.

В принципе, также возможно выровнять часть 50% смещенных кромок 41 таким образом, чтобы их проекция в плоскости объекта 6 была параллельна направлению x, а остальные 50% смещенных кромок , 41, выровнены таким образом, что их проекция в плоскости объекта 6 проходит параллельно направлению y.

Можно реализовать массив зеркал с отдельными зеркалами 21 в соответствии с множеством вышеописанных вариантов осуществления.В частности, можно выполнить массив зеркал таким образом, чтобы некоторые из отдельных зеркал 21 , например, по меньшей мере, 10%, в частности, по меньшей мере, 30%, в частности, по меньшей мере, 50%, в частности, по меньшей мере, 70%, имеют отдельную отражающую поверхность 20, , и с плоской конструкцией, в то время как остальные отдельные зеркала 21 соответственно имеют одну или несколько смещенных кромок 41 .

Зеркальная решетка может также иметь как офсетную, так и дифракционную структуру.

В отношении дополнительных подробностей, касающихся возможности перемещения отдельных зеркал 21 зеркальной матрицы и установки заданной настройки освещения, сделана ссылка на WO 2009/100 856 A1 или DE 10 2008 009 600 A1.

Выше была описана смещенная структура для массива зеркал с множеством отдельных зеркал 21 . Однако также возможно реализовать фасетки поля , 13, , а, зеркала 13, полевых фасетов как отдельные фасеты, т.е.е. как грани, не состоящие из множества отдельных зеркал 21 . Тем не менее они могут быть снабжены соответствующей дифракционной структурой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области. Как описано выше, глубина d канавки фазовой решетки выбирается таким образом, чтобы она как раз соответствовала четверти длины волны λ _ex , которую необходимо заблокировать. Блокируемая длина волны λ _ex представляет собой, в частности, длину волны лазера, который используется для генерации плазмы в источнике излучения EUV 3 .

В частности, фазовая решетка имеет перемычки и канавки одинаковой ширины.

Период решетки p выбран таким образом, чтобы угол отклонения для первых порядков дифракции дифрагированного излучения находился в такой области, что изображения порядков 1 ^st и -1 ^st дифракции соответственно попадают на грани зрачка 14 a , которые лежат рядом с гранью зрачка 14 a , на которых останавливается изображение освещающего излучения 10 .Это изображение также называют зеркальным отражением. В этом отношении следует отметить, что освещающее излучение , 10, имеет ширину когерентности, которая меньше периода p решетки, по меньшей мере, на один порядок величины. В частности, ширина когерентности освещающего излучения находится в диапазоне от 5 мкм до 20 мкм. Для пояснения первые порядки дифракции обозначены ссылочным номером , 42, на фиг. 9 и 10.

В принципе, также можно выбрать период решетки p таким образом, чтобы изображения дифракционного порядка 1 ^st и -1 ^st приходились на грани зрачка 14 a , которые лежат дальше от грани зрачка 14 a , на котором останавливается изображение нулевого порядка дифракции освещающего излучения 10 .В принципе, инфракрасное излучение также возможно в такой большой степени, чтобы оно больше не падало на фасеточное зеркало , 14, зрачка.

В частности, угол отклонения находится в диапазоне от 3 до 10 мрад, в частности в диапазоне от 5 до 7 мрад.

Грани поля 13 a имеют соотношение сторон по меньшей мере 5: 1, в частности по меньшей мере 8: 1, в частности по меньшей мере 13: 1. Фасет поля 13, , и , проиллюстрированный на фиг.11 в качестве примера имеет дугообразную конструкцию. Он имеет размер примерно 80 мм в направлении оси x. Размер в направлении y, то есть параллельно направлению сканирования, составляет приблизительно 4 мм. В случае такого варианта осуществления грани поля , 13, , , фазовая решетка предпочтительно выровнена ортогонально по отношению к длинной стороне. Однако, как описано выше, фазовая решетка может быть выровнена под небольшим углом по отношению к направлению сканирования.

Хотя фазовая решетка подходит для дифракции нежелательного инфракрасного излучения 36 , она может отрицательно влиять на равномерность освещения поля объекта 5 . То же самое относится к конструкции полевого фасетного зеркала 13, , которое образовано разделением на отдельные зеркала 21 . Могут быть интерферирующие пространственные частоты в освещении предметного поля 5, в результате не непрерывно дифференцируемых переходов между соседними отдельными зеркалами , 21, .

Следовательно, в соответствии с дополнительным аспектом изобретения предусмотрено, что фасетки зрачка , 14, , и должны быть снабжены механизмом для демпфирования пространственных частот выше определенной предельной частоты. Эффект такой конфигурации фасеточного зеркала , 14, зрачка схематично проиллюстрирован на фиг. 12 и 13. В то время как структура на гранях поля 13 a с пространственными частотами порядка 1 мм ^-1 может приводить к вариациям интенсивности светового излучения 10 в области объекта поле 5 , в частности, в x-направлении, т.е.е. перпендикулярно направлению сканирования, такие изменения интенсивности могут быть демпфированы или сглажены подходящей конфигурацией граней зрачка 14 a.

Для гашения пространственных частот грани зрачка 14 a могут, в частности, быть снабжены функцией рассеяния, так что интенсивность I рассеяния имеет угловое распределение I (α). В частности, это одномерная функция рассеяния. Он предпочтительно сконфигурирован таким образом, чтобы влиять на освещенность поля объекта 5, в x-направлении, т.е.е. только в направлении перекрестного сканирования. Точное определение функции рассеяния зависит от демпфируемых пространственных частот, то есть, в частности, от структуры полевого зеркала 13 . В одном примерном варианте осуществления было обнаружено, что предпочтительным является конфигурирование функции рассеяния как одномерной функции Гаусса с углом рассеяния σ, равным 0,4 мрад. В частности, угловое распределение интенсивности рассеяния I (α) имеет следующий вид:

I⁡ (α) = I0⁢ (12⁢πσ2⁢e) -α22⁢σ2.

В результате следует TIS (общий интегрированный разброс), равный 100%, поскольку

∫-π2π2⁢⁢d⁢⁢α⁢⁢I⁡ (α) = I0,
, где I ₀ — мощность или интенсивность инцидент на фасетке зрачка. Используя это, можно было ослабить пространственные частоты более 1,33 мм ^-1 до контраста менее 0,01% в области поля изображения 5 .

Эта функция рассеяния может быть реализована путем прямого вписывания одномерных цилиндров в фасетки зрачка 14 a .Другими словами, грани зрачка , 14, , и соответственно имеют отражающую поверхность 43, , которая состоит из цилиндрических участков поверхности. В частности, цилиндры выровнены параллельно друг другу. Они расположены повернутыми относительно направления y на угол c. В частности, угол c находится в диапазоне от 0 ° до 15 °, в частности в диапазоне от 5 ° до 10 °.

Цилиндры имеют круглую цилиндрическую форму. Они имеют равномерный радиус кривизны R.Они имеют разную ширину b _и , т.е. разные центральные углы m. Ширина b _и цилиндров также называется шагом. Комбинируя множество различных шагов, можно аппроксимировать функцию рассеяния, в частности функцию Гаусса. С этой целью аппроксимируемая функция Гаусса может быть разложена, например, на N = 10 шагов с неизменным уровнем интенсивности. Впоследствии можно определить ширину b _и цилиндров при заданном радиусе кривизны R.Сумма этих N = 10 шагов также называется заплатой.

Аппроксимация функции рассеяния N = 10 фрагментами в качестве примера проиллюстрирована на фиг. 15. Здесь каждая из горизонтальных полос соответствует профилю рассеяния отдельного цилиндра. Угол рассеяния, нанесенный на ось x, в случае заданного радиуса кривизны R может быть непосредственно преобразован в ширину b _i соответствующего цилиндра.

Множество пятен предпочтительно размещается на фасете зрачка 14 a .При этом желательно менять последовательность цилиндров.

Данные о конструкции накладки с шагом N = 10, радиусом кривизны R = 50 мм и общей шириной b _Ges = 250 мкм указаны в следующей таблице.

Номер шага Ширина [мкм] Провисание [мкм] 143.79860.00479579236.92960.0034095332.24010.00259857428.44790.0020232525.11510.00157691622.02060.00125012790.0006190.732020.00019062

В качестве альтернативы шагам с равномерным радиусом кривизны R и участкам с разной шириной b _и , шаги могут также иметь разные радиусы кривизны R _и и одинаковую ширину b или разные радиусы кривизны R _i и разной ширины b _i .

Вместо поверхности, которую нельзя непрерывно различать, фасетки зрачка 14 a также могут иметь гладкую периодическую структуру.

В качестве альтернативы эффект рассеивания граней зрачка 14 a также может быть введен через профиль шероховатости. В отношении деталей сделана ссылка на ЕР 1 796 147 А1.

Для гашения пространственных частот фасетки 14 a зрачка также могут быть снабжены целевой расфокусировкой. В отношении деталей сделана ссылка на патент США No. № 7,006,595 B2. Грани зрачка , 14, , и предпочтительно расфокусированы только в направлении перекрестного сканирования.Это может быть достигнуто, в частности, за счет тороидальной конструкции граней зрачка 14 a . Что касается деталей тороидальных фасеток зрачка, можно сослаться на ЕР 1 811 547 А1.

Наконец, также возможно ввести заданную спектральную плотность мощности (PSD) на поверхность граней зрачка 14 a , что приводит к соответствующей функции рассеяния. Под этим подразумевается, что поверхность граней зрачка , 14, , и имеет шероховатость, в частности, шероховатость анизотропным образом.Это делает возможным достижение целевой функции распределения отражательной способности, в частности целевой функции двунаправленного распределения отражательной способности (BRDF).

В отношении передержки поля объекта 5, , подлежащего освещению, делается ссылка на тот факт, что поле объекта, подлежащее освещению, обычно в любом случае передерживается в направлении перекрестного сканирования. Размытие краев из-за дефокусировки или функции рассеяния, следовательно, не обязательно приводит к относительно большому переэкспонированию и связанным с этим системным передачам.При необходимости это можно учесть при проектировании функции рассеяния, в частности ее градиента в краевой области.

Вариант осуществления граней зрачка 14 a с механизмом демпфирования пространственных частот, в частности вариант осуществления граней зрачка 14 a с функцией рассеивания, может быть предпочтительным, независимо от конструкции Зеркало полевое фасетное 13 . В результате соответствующей конфигурации фасеточного зеркала , 14, зрачка может быть улучшена стабильность системы освещения и / или равномерность освещения предметного поля 5, , в частности.

Комбинация полевого фасеточного зеркала 13 с дифракционной структурой для дифракции излучения с длиной волны в инфракрасной области и фасеточного зеркала 14 зрачка с функцией рассеяния оказалась особенно выгодной.